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商品介紹
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顯影液3
 

NP100系列

產品特性
      NP-100系列是以水性溶劑為配方基礎所配製之顯影劑,可廣泛應用於半導體製程中正型或負型光阻之顯影製程。NP-100系列均不含二甲苯及苯類成份,具較低的溶解性,較不會造成光阻的膨脹,而有較佳的影像解析度。NP-100系列不含毒性管制物質、亦不含鈉、鉀金屬離子,可避免對半導體元件造成污染。配方中並添加界面活性劑,應用於細線寬產品可達到最好的潤濕及顯影效果。
 
製程參考條件
      使用NP-100進行光阻顯影製程時,操作的條件如時間和溫度的控制決定於光阻的種類及預烤溫度等。一般設定為20 ~ 35℃,30 ~ 300秒。
 儲存條件
      應避免日照,並儲放於陰涼通風處,低於25℃。

 

NP200系列

產品特性
      NP-200系列是以水溶性有機溶劑為配方基礎所配製之顯影劑,可廣泛應用於高階半導體製程中正型或負型光阻之顯影製程。不含二甲苯及苯類成份,具較低的溶解性,較不會造成光阻的膨脹,而有較佳的影像解析度,亦不會對金屬(如銅、鎳、鋁等)產生腐蝕性。不含毒性管制物質、亦不含鈉、鉀金屬離子,可避免對半導體元件造成污染。
 
製程參考條件
      使用NP-200系列進行光阻顯影製程時,操作的條件如時間和溫度的控制決定於光阻的種類及預烤溫度等。一般設定為20 ~ 35℃,30 ~ 300秒。
 
儲存條件
      應避免日照,並儲放於陰涼通風處,低於25℃。