产品特性
NP-100系列是以水性溶剂为配方基础所配制之显影剂,可广泛应用於半导体制程中正型或负型光阻之显影制程。NP-100系列均不含二甲苯及苯类成份,具较低的溶解性,较不会造成光阻的膨胀,而有较佳的影像解析度。NP-100系列不含毒性管制物质、亦不含钠、钾金属离子,可避免对半导体元件造成污染。配方中并添加界面活性剂,应用於细线宽产品可达到最好的润湿及显影效果。
制程参考条件
使用NP-100进行光阻显影制程时,操作的条件如时间和温度的控制决定於光阻的种类及预烤温度等。一般设定为20 ~ 35℃,30 ~ 300秒。
储存条件
应避免日照,并储放於阴凉通风处,低於25℃。