NP200系列
電洽
產品特性
NP-200系列是以水溶性有機溶劑為配方基礎所配製之顯影劑,可廣泛應用於高階半導體製程中正型或負型光阻之顯影製程。不含二甲苯及苯類成份,具較低的溶解性,較不會造成光阻的膨脹,而有較佳的影像解析度,亦不會對金屬(如銅、鎳、鋁等)產生腐蝕性。不含毒性管制物質、亦不含鈉、鉀金屬離子,可避免對半導體元件造成污染。
製程參考條件
使用NP-200系列進行光阻顯影製程時,操作的條件如時間和溫度的控制決定於光阻的種類及預烤溫度等。一般設定為20 ~ 35℃,30 ~ 300秒。
儲存條件
應避免日照,並儲放於陰涼通風處,低於25℃。